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什么是微透镜阵列?

目前,人们已经能够制造出直径非常小的透镜和透镜阵列。这种透镜和透镜阵列通常不能被人眼识别。只能用显微镜、扫描电镜、原子力显微镜等设备观察。


1.什么是微透镜阵列?

微透镜阵列是由具有通光孔径和微米级浮雕深度的透镜组成的阵列。它不仅具有传统镜头的对焦、成像等基本功能,而且具有单元尺寸小、集成度高的特点,使其能够完成传统光学元件无法完成的功能,并能形成许多新的光学系统


2.微透镜阵列的制造方法

目前,科学研究主要有两种方法来减小微透镜和微透镜阵列。第一种方法是二元光学法,主要研究利用光刻、激光直写、灰度掩模、离子束刻蚀等技术制作衍射微透镜和衍射微透镜阵列。这种方法生产的光学元件具有表面相浮雕结构,表面形状不连续,这种类型的微透镜和微透镜阵列称为衍射微透镜和透镜阵列。


第二种方法是最小化微透镜的尺寸,同时保持透镜表面光滑和连续,并将它们排列起来。采用的主要方法有胶体粒子自组装法、离子交换法、感光玻璃热成型法、光刻胶热熔法、光电反应刻蚀法、聚焦离子束刻蚀沉积法、化学天气沉积法等方法,微透镜和用这种方法生产的微透镜阵列称为折射型微透镜和微透镜阵列。

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